韩国业内一项调查显示，美国、日本、欧洲企业实际上垄断了韩国半导体设备 AI 专利。提高半导体生产效率的关键是 AI 技术，业内担忧韩国半导体设备竞争力将受到影响。

据 ETNews 报道，下一代智能半导体财团与韩国半导体显示器技术学会合作，对 10 大外国半导体设备企业和 10 家韩国本土半导体设备企业的 AI 专利竞争力进行了调查。结果显示，韩国半导体设备相关的人工智能专利中，外国企业占 98%。

在这其中，占比最大的是美国军方，共申请了 54 项专利。ASM 和 ASML 分别为 24 和 20。日立高科技申请了 12 项，应用材料申请了 11 份。而韩国本土设备企业只有 3 项，两项来自 SEMES，一项来自 PSK。

AI 技术在半导体设备中的应用直接关系到生产率，可用于晶圆转移、工艺配方优化和缺陷形态分析。这减少了半导体生产的过程时间和成本，同时提高了产品收率。业内评价称，如果将 AI 技术应用于半导体设备，生产效率最高可提高 10 倍。

Lam Research 称，其最大的优势是通过 AI 技术将实验设计的数量和成本减少 20%。KLA 和 TEL 也将 AI 应用于他们的测量和测试设备。

报道指出，外国企业从 2008 年开始在韩国申请 AI 相关专利。特别是，自半导体超级周期正式开始的 2017 年以来，外国企业的专利申请急剧增加。而韩国本土企业直到 2018 年才申请专利。

下一代智能半导体财团理事长 Hyung-joon Kim 评价称:“大部分专利都是在申请后 1 年半后才公开的，因此外国企业急于通过提前公开和优先审查来确保专利权。”

如果不能及时确保专利权，设备的竞争力将会下降。由于半导体制造工艺相似，如果外国企业首先获得专利，就有可能中断国内设备的开发。由此可见，AI 专利竞争力已成为进入新一代半导体设备市场的障碍。

Hyung-joon Kim 强调说，“国内半导体设备 AI 专利的引进和开发出乎意料地落后。有必要在诊断和检测等相对容易引进的领域推进 AI 专利申请。”